#杂质
1 多晶硅质量控制的难点多晶硅生产的质量特点一是纯度高, 产品的主要杂质含量要求控制在ppb级, 而且主要杂质种类复杂, 这远远高于一般化工产品的品质要求。二是检测困难, 中间产品 (如成品三氯......
