#深亚
伴随着集成电路技术向高集成度、高性能、低功耗、高稳定性的发展, 集成电路的特征尺寸已经进入深亚微米量级。在深亚微米量级下, 互连线的寄生效应已经成为了超大规模集成电路 (VLSI) 实现高速度......